常州磐云精密机械有限公司主要产品:北京真空炉,纯化炉,导模法炉,直拉法炉,泡生法炉,热交换法炉,坩埚下降法炉,导模大板材法炉,面向地区有北京,延庆,密云,天津,蓟县,静海,宁河。下面我们带大家了解下真空检漏是更精确的方法。它是将液氮或液氩储存系统与真空炉脱离,确保整个系统处于真空状态,然后使用氦质谱仪检查系统的泄漏情况。在进行真空检漏时,您应当:
1. 关闭外部气阀,以使外部液态气体系统与蒸发器、回充储罐、真空炉以及所有配套的减压和回充管路脱开。
2. 使用真空炉的正常抽气系统对炉膛进行抽真空操作。
3. 对回充储罐进行减压操作。
4. 对炉体上的回充阀人工送电以将其打开。这步操作应由有经验的*按照安全规定来执行。
一旦您打开回充阀和将回充储罐减压到大气压水平,真空炉就开始抽除管路中的气体。从气体储罐和蒸发器直到关闭的外部气阀,其中的气体都将被抽除。然后,您可以使用真空炉的抽气系统对整个回充系统进行抽气,使整套系统都达到真空状态。接下来,您应当使用氦质谱仪对系统进行泄漏检测。
当您完成了真空炉和惰性气体的全部泄漏检测后,必须逐个消除每一处泄漏。